型号：XPT 800
适用范围：PVD工.模具镀膜
产品别名：多弧离子镀膜机
电镀电源：直流.脉冲电源
电镀位置：耐磨涂层
镀膜种类：离子金、离子银、氮化钛膜、碳化钛膜、氮化铬铝膜、氮化锆膜、钛铝合金膜、氮化铬等超硬功能性金属膜。
镀膜原理：PVD物理沉积
腔体尺寸：单开门， 真空腔室700×700×780
真空机组：分子泵+罗茨泵+机械泵
极限真空：3.0×10-4Pa
工件驱动：柔性传动，主轴采用磁流体密封装置
加热系统：铠装加热器，加热温度可达550℃，可镀膜尺寸：Φ400×500mm
弧源种类：2套Φ150间冷多弧靶，电磁线圈控制磁场，靶材表面刻蚀更加均匀
偏压电源：0-1000V
真空测量系统：皮拉尼 .冷阴极.薄膜规.压力计
气路系统：4路质量流量计可独立控制
设备总功率：50KW~110KW
水冷却系统：工业冰水机冷却循环系统控制系统：PLC手、自动操控系统，可完成设备流程设定及数据采集记录等各项工作。